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一. 靜電和靜電的危害

靜電是一種電能,它存留於物體表麵,是正負電荷在局部範圍內失去平衡的結果,是通過電子或離子的轉換而形成的。靜電現象是電荷在產生和消失過程中產生的電現象的總稱。如摩擦起電、人體起電等現象。隨著科技發展,靜電現象已在靜電噴塗、靜電紡織、靜電分選、靜電成像等領域得到廣泛的有效應用。但在另一方麵,靜電的產生在許多領域會帶來重大危害和損失。例如在第一個阿波羅載人宇宙飛船中,由於靜電放電導致爆炸,使三名宇航員喪生;在火藥製造過程中由於靜電放電(ESD),造成爆炸傷亡的事故時有發生。

在電子工業中,隨著集成度越來越高,集成電路的內絕緣層越來越薄,互連導線寬度與間距越來越小,例如CMOS 器件絕緣層的典型厚度約為0.1μm,其相應耐擊穿電壓在80-100V;VMOS 器件的絕緣層更薄,擊穿電壓在30V。而在電子產品製造中以及運輸、存儲等過程中所產生的靜電電壓遠遠超過MOS 器件的擊穿電壓,往往會使器件產生硬擊穿或軟擊穿(器件局部損傷)現象,使其失效或嚴重影響產品的可靠性。

※ ESD (Electro static Discharge ) ESD 的中文含意:靜電放電;

※因為電子產品生產中靜電放電是靜電危害最主要的部分,所以ESD 稱為靜電防護的代名詞。

二. 人體對靜電的感知

一般靜電放電現象是看不到的,人體對靜電的感知電壓在3KV 以上,當人體感知到靜電放電時有些電子器件已經擊傷或

暫時性失效。

人體對靜電不易感知的原因是:電量小、放電時間短。



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